变色龙 (@bianselong) 在 光刻机：首台/套国产氟化氪光刻机和氟化氩光刻机开始推广应用 中发帖
工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中，包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）的内容。
工业和信息化部装备工业二司 (https://mp.weixin.qq.com/s/ZePZc81kScak9CVjt7dQ3w)